نقدم في هذه الورقة الخصائص البنيوية و الضوئية و الكهربائية لأفلام رقيقة من أكسيد الزنك تمت تنميتها من أجل بارامترات مختلفة بوساطة طريقة الترسيب الذري الطبقي (ALD). و قد نميت هذه الأفلام على ركائز من الزجاج و السيلكون عند درجات حرارة منخفضة. استخدمنا
ثنائي إيتيل الزنك (diethyl-zinc) و الماء منزوع الأيونات كمصادر للزنك و الأكسجين، على التوالي. أجريت قياسات مورفولوجيا السطح، و التألق الضوئي في درجة حرارة الغرفة و مفعول هول لطبقات من أكسيد الزنك. و قد بينت الدراسة أن الأفلام التي تم الحصول عليها عند درجة حرارة130°C تظهر أعلى تركيز للحاملات (1.1×1019 cm-3) و أقل مقاومة (2.84×10-2 Wcm) . كما أظهرت الأفلام حركية تصل إلى 19.98 cm2/Vs و أنها ترتبط مع عملية التكنولوجيا المستخدمة.
أجريت دراسة التركيب الكيميائي السطحي بواسطة مطيافية إلكترون أوجيه (AES) لطبقات من أكسيد الزنك المنماة بطريقة الترسيب الذري الطبقي. و قد تم تحديد العناصر المتوافرة على سطوح المواد، و تعيين التركيز الذري للعناصر على السطوح. لوحظت كمية صغيرة فقط من الكر
بون أو من مركبات الكربون، تم إزالتها بسهولة من خلال قذفها بايونات الأرغون. كما تبين أيضا أن قذف سطح العينة بايونات الأرغون لمدة طويلة يستنفذ الأكسجين منه جزئيا.
رُسبت أفلام رقيقة ناقلة شفافة (TCOs) من أكسيد القصدير المُشاب بالمنغنيز عند درجة
حرارة ركيزة 450° C بطريقة البخ الحراري. تمت مُناقشة الخصائص البنيوية للأفلام بتابعية
سوية الإشابة لممنغنيز (0, 1 , 3 , 5 ,7 wt%) بينما جميع متغيرات الترسيب مثل: درج
ة
حرارة الركيزة، معدل البخ، ضغط الغاز الحامل، المسافة بين فوهة البخ و الركيزة بقيت ثابتة.
لقد جذبت البلورات النانوية لأكاسيد المعادن شبه الموصلة اهتماماً كبيراً بسبب خصائصها المثيرة للاهتمام لذلك جاءت دراستنا لبعض الخصائص الفيزيائية لمركب أوكسيد القصدير النقي والمشاب بالأنتموان، أظهرت قياسات طيف الأشعة تحت الحمراء لأوكسيد القصدير النقي وج
ود ترددات اهتزازية أبرزها لها الطاقتين (574.683,415.585) cm-1، وتبين وجود ترددات اهتزازية لأوكسيد القصدير المشاب بالأنتموان بنسبة (4Wt%) وأبرزها لها الطاقتين (669.178,417.513) cm-1، وأظهرت الدراسة بأن أكبر قيمة للامتصاصية ومعامل الامتصاص، كانت في عينة أوكسيد القصدير المشابة بالأنتموان وهي على الترتيب A=0.7560، α=17.389 cm-1، عند التردد الاهتزازي ذي الطاقة ʋ=3447.13cm-1، كما أظهرت الدراسة أن قرينة انكسار أوكسيد القصدير النقي تتراوح بين (1.832 – 2.371)، أما بالنسبة لأوكسيد القصدير المشاب بالأنتموان كانت قيمة قرينة الانكسار بين (1.709 – 2.643).
