نناقش في هذا البحث، تأثير العيوب النقطية على الخصائص الكهربائية و الضوئية لأفلام رقيقة من أكسيد الزنك تم تنميتها بطريقة الترسيب الذري الطبقي على ركائز من الزجاج و السيلكون عند درجة حرارة منخفضة (100°C). أنجزت قياسات أطياف التألق الضوئي عند درجة حرارة الغرفة، و الأطياف الكتلوية الأيونية الثانوية، و قياسات مفعول هول لطبقات من أكسيد الزنك. أجريت عملية التسخين عند درجة حرارة 400 °C لعينة ZnO المنماة على ركيزة من الزجاج في الهواء و في جو من الأزوت N2 لمدة نصف ساعة. إن التسخين الطويل يؤدي إلى اختزال كبير لتركيز الإلكترونات، و في نفس الوقت، نلاحظ زيادة واضحة في حركية حاملات الشحنة، الذي قد يؤدي إلى انخفاض عدد العيوب الأصلية في طبقات أكسيد الزنك. لوحظ أيضا أن ذرات الهيدروجين في عينات أكسيد الزنك لا تسيطر على الخصائص الكهربائية بازدياد تركيز الإلكترونات.
In the present paper, we discuss the influence of point defects on electrical and
optical characteristics of ZnO thin films grown by the atomic layer deposition (ALD)
method on glass and silicon substrates at low temperature (100°C). Room temperature
photoluminescence (RT PL) spectra, secondary ion mass spectroscopy (SIMS), and Hall
Effect measurements were made for as-grown ZnO layers. The annealing process was
performed in air as well as in N2 atmosphere at 400°C for half an hour. The long annealing
resulted in a larger reduction in electron concentration. Simultaneously, an evident
increase in carrier's mobility was observed, which may suggest that annealing resulted in a
decreased number of native defects in the ZnO layers. Also, it was observed that hydrogen
atoms in ZnO samples did not dominate their electrical properties with the increase of
electrons concentration.
Artificial intelligence review:
Research summary
تناقش هذه الورقة البحثية تأثير العيوب النقطية على الخصائص الكهربائية والضوئية لأفلام رقيقة من أكسيد الزنك (ZnO) التي تم تنميتها باستخدام طريقة الترسيب الذري الطبقي (ALD) على ركائز من الزجاج والسيليكون عند درجة حرارة منخفضة (100°C). تم قياس أطياف التألق الضوئي عند درجة حرارة الغرفة، والأطياف الكتلوية الأيونية الثانوية، وقياسات مفعول هول لطبقات أكسيد الزنك. أظهرت النتائج أن عملية التسخين عند درجة حرارة 400°C لعينة ZnO المنماة على ركيزة من الزجاج في الهواء وفي جو من الأزوت لمدة نصف ساعة تؤدي إلى انخفاض كبير في تركيز الإلكترونات وزيادة واضحة في حركية حاملات الشحنة. كما تبين أن ذرات الهيدروجين في عينات أكسيد الزنك لا تسيطر على الخصائص الكهربائية مع زيادة تركيز الإلكترونات. تشير النتائج إلى أن التسخين يؤدي إلى انخفاض عدد العيوب الأصلية في طبقات أكسيد الزنك، مما يحسن من الخصائص الكهربائية والضوئية لهذه الأفلام. يمكن التحكم في هذه الخصائص من خلال تعديل بارامترات النمو مثل درجة حرارة الترسيب وجرعات المصادر، مما يجعل هذه الأفلام مناسبة لتطبيقات الإلكترونيات الحديثة والإلكترونيات الضوئية.
Critical review
دراسة نقدية: تعتبر هذه الورقة البحثية ذات أهمية كبيرة في مجال تحسين الخصائص الكهربائية والضوئية لأفلام أكسيد الزنك، إلا أن هناك بعض النقاط التي يمكن تحسينها. أولاً، لم يتم التطرق بشكل كافٍ إلى تأثير العيوب الأخرى غير العيوب النقطية على الخصائص المدروسة، مما قد يحد من شمولية النتائج. ثانياً، كان من الممكن تقديم تحليل أكثر تفصيلاً للبيانات التجريبية وربطها بالنظريات الحالية بشكل أعمق. أخيراً، قد يكون من المفيد إجراء دراسات إضافية على ركائز مختلفة ودرجات حرارة متنوعة لتوسيع نطاق النتائج وتأكيدها.
Questions related to the research
-
ما هي الطريقة المستخدمة لتنمية أفلام أكسيد الزنك في هذه الدراسة؟
تم استخدام طريقة الترسيب الذري الطبقي (ALD) لتنمية أفلام أكسيد الزنك في هذه الدراسة.
-
ما هو تأثير التسخين عند درجة حرارة 400°C على عينات أكسيد الزنك؟
التسخين عند درجة حرارة 400°C يؤدي إلى انخفاض كبير في تركيز الإلكترونات وزيادة واضحة في حركية حاملات الشحنة في عينات أكسيد الزنك.
-
هل تسيطر ذرات الهيدروجين على الخصائص الكهربائية لأفلام أكسيد الزنك؟
لا، ذرات الهيدروجين في عينات أكسيد الزنك لا تسيطر على الخصائص الكهربائية مع زيادة تركيز الإلكترونات.
-
ما هي التطبيقات المحتملة لأفلام أكسيد الزنك التي تم الحصول عليها في هذه الدراسة؟
يمكن استخدام أفلام أكسيد الزنك في تطبيقات الإلكترونيات الحديثة والإلكترونيات الضوئية، مثل الترانزستورات الرقيقة (TFTS) والأجهزة التي تتطلب مجموعة حرارية منخفضة.
References used
CAN, M. MUSA; SHAH, S. ISMAT; DOTY, F.M; HAUGHN, R. C; FIRAT, T. Electrical and optical properties of point defects in ZnO thin films, J. Phys. D: Appl. Phys. 45, 2012, pp.1-11
ÖZGÜR, Ü; ALIVOV, YA. I.; LIU, C; TEKE, A; RESHCHIKOV, M. A; DOGAN, S; AVRUTIN, V; CHO, S.-J; MORKOÇ H. A comprehensive review of ZnO materials and devices, Journal of Applied Physics 98(4), 2005, p. 041301
KLINGSHIRN C. ZnO: from basics towards applications, Physica Status Solidi (b) 244(9), 2007, pp. 3027–3073
In this paper we present the structural, optical and electrical characteristics of ZnO thin films grown for different parameters by the atomic layer deposition (ALD) method. The films were grown on glass and silicon substrates at low temperatures. We
A study of surface chemical composition has been performed by using Auger Electron Spectroscopy (AES) for ZnO layers grown by Atomic Layer Deposition (ALD) procedure.Elements on surface of materials were identified,and, an atomic concentration of ele
Thin films of ZnO were successfully prepared on glass substrates with different thicknesses by sol-gel method by using zinc acetate dehydrate as precursor. The surface of thin films morphology from were studied by AFM micrographs, the structural prop
In this paper we present the preparation of PbS nanocrystalline thin films
using Chemical Bath Deposition (CBD) technique. We have performed this
work in order to study the photoconductivity of PbS semi-conductor thin films.
The details of the pre
There are wide uses of tin oxide thin films, especially in the field of
transparent conductors, solar cells, gas sensors and piezoelectric materials.
Laser deposition is considered one of the most important techniques followed to
obtain these film