تمت دراسة تركيز العيوب المتشكلة بالضوء من خلال دراسة انزياح سويّة فيرمي المقيس من تغير الناقلية مع درجة الحرارة لعينات من السليسيوم اللابلوري المهدرج , محضّرة بطريقة الترسيب الغازي المعزّز بالبلازما (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition "PECVD")
. بينت هذه الدراسة أن قيمة طاقة التنشيط للعيّنات في الحالة As-depos. تشير إلى أنّ العينات قبل الإحماء (كما تكون عند استلامها من المخبر) تتعرض جزئياً للضوء خلال عملية النقل والتخزين. تم تفسير تأثر هذه العينات بالضوء على أنه عائد إلى قطع روابط ضعيفة من السليسيوم وتشكل روابط مقطوعة.
وجدنا أيضاً أن العينات التي تحتوي على هيدروجين أقل هي الأكثر تأثراً بالضوء , ممّا يدلّ على دور الهيدروجين الهام في إشباع العيوب. كذلك تبيّن أن العينات التي تحتوي على الجرمانيوم بنسبة إشابة أقل هي الأكثر تأثراً بالضوء
