تؤدي عملية تشعيع عينة كريستالية إلى حصول تشوهات في هذه العينة ، و تنتج هذه التشوهات عن انزياح الذرات من أماكنها النظامية في الشبكة و توضعها في أماكن غير نظامية كما تنتج هذه التشوهات ، لكن بمقدار أقل بكثير ، من جسيمات الحزمة ( الجسيمات الغريبة ) المتو
ضعة داخل العينة .
يتعلق عمق و مقدار هذه التشوهات بمتحولات التشعيع، و يمكن تحديد مقاطع التوزع العمقي للتشوهات بطريقة (RBS (Rutherford Back Scattering ، لكن حساسية هذه الطريقة غير كافية لتحديد التوزع العمقي لكثافة جسيمات الحزمة المتوضعة داخل العينة .
يتعلق عمق توضع قمة مقطع RBS بشدة بزاوية توجيه قناة ما من العينة بالنسبة إلى حزمة التشعيع و كذلك بنوع القناة.حيث تنزاح قمة مقاطع RBS في التشعيع القنوي نحو العمق مقارنة مع نظيرتها في التشعيع العشوائي و يتعلق مقدار هذا الانزياح بمتحولات التشعيع .
يزدادارتفاع قمة مقاطع RBS مع زيادة جرعة التشعيع القنوي ، و يسمى الارتفاع الذي لا يمكن تجاوزه بحالة الأمورف و الجرعة الموافقة بجرعة الأمورف و تتعلق جرعة الأمورف أيضا بمتحولات التشعيع و خاصة درجة حرارة العينة.
