رُسبت أفلام رقيقة ناقلة شفافة (TCOs) من أكسيد القصدير المُشاب بالمنغنيز عند درجة
حرارة ركيزة 450° C بطريقة البخ الحراري. تمت مُناقشة الخصائص البنيوية للأفلام بتابعية
سوية الإشابة لممنغنيز (0, 1 , 3 , 5 ,7 wt%) بينما جميع متغيرات الترسيب مثل: درجة
حرارة الركيزة، معدل البخ، ضغط الغاز الحامل، المسافة بين فوهة البخ و الركيزة بقيت ثابتة.
Mn doped tin oxide transparent conducting thin films were deposited at a
substrate temperature of 450°C by spray pyrolysis method. Structural
properties of the films were investigated as a function of various Mn-doping
levels (0, 1, 3, 5, 7 wt%) while all other deposition parameters such as
substrate temperature, spray rate, carrier gas pressure and distance between
spray nozzle to substrate were kept constant.
المراجع المستخدمة
ROY S.S.; PODDER J., 2010 - Synthesis And Optical Characterization Of Pure And Cu Doped SnO2 Thin Films Deposited By Spray Pyrolysis, Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, 12(7), 1479-1484
TURGUT G.; KESKENLER E. F.; AYDIN S.; SONMEZ E.; DOGAN S.; DUZGUN B.; ERTUGRUL M., 2013 - Effect Of Nb Doping On Structural, Electrical And Optical Properties Of Spray Deposited SnO2 Thin Films, Super lattices and Microstructures, 56, 107-116
GANDHI T.; BABU R.; RAMAMURTHI K., 2013 - Structural, Morphological, Electrical And Optical Studies Of Cr Doped SnO2 Thin Films Deposited By The Spray Pyrolysis Technique, Materials Science in Semiconductor Processing, 16, 427-479