قمنا بترسيب أغشية رقيقة من الكادميوم تيلورايد (CdTe) على ركازات من الـسليكون بثخانـات
مختلفة بطريقة التبخير الفيزيائي الحراري (evaporation thermal) . الثخانات الهندسـية للأغـشية
جرى حسابها من طيف الانعكاس للأغشية، و درست الخواص البنيوية و التوجه البلوري لهـذه الأغـشية
بتحليل انعراج الأشعة السينية (XRD) و حددت وسطاء البنية مثل ثابت الشبيكة البلوريـة (a) و كثافـة
الانخلاعات (δ) و عامل الإجهاد (ε) ، و أبعاد الحبيبات (D) ، و لوحظ ازدياد الأبعاد الحبيبية و نقـصان فـي
الإجهاد المكروي و كثافة الانخلاعات بازدياد ثخانة الغشاء المرسـب. كمـا اسـتخدمت تقنيـة انعـراج
الالكترونات عالية الطاقة المنعكسة (RHEED) في الدراسة البنيوية و تبين أن الأغشية ذات بنية مكعبة
مركزية الوجوه، و حدد التوجه البلوري المفضل للغشاء و الحبيبات المتشكلة عليه فكـان الوجـه (111)
موازياً لسطح الركازة، كما حددت نسبة الكادميوم و التيلورايد في الأغشية المرسـبة باسـتخدام تقنيـة
الـ(EDX) و وجد أن النسبة المئوية الذرية للكادميوم قد ازدادت فـي حـين النـسبة المئويـة الذريـة
للتيلورايد قد نقصت، و ذلك بسبب إعادة تبخر ذرات التيلورايد المترسبة.
CdTe Thin films were deposited on silicon substrates by thermal
evaporation method. The geometric thickness was calculated using
interferometric method based on reflectance curve recorded with the
spectrophotometer. The Reflection of High-Energy Electron Diffraction
(RHEED) patterns and XRD analysis reveals that the structure of the films are
polycrystalline with preferential orientation (111). The structure constant (a),
crystallite size (D), dislocation density (δ) and strain (ε) were calculated, and it
is observed that the crystallite size increases but micro-strain and dislocation
density decreases with increases in thin film thickness. The composition of the
samples was determined by Energy Dispersive X-ray Analysis (EDX) and it is
found that the wt.% of Cd increases and the wt.% of Te decreases with the
increases of film thickness due to the re-evaporation of Te.
المراجع المستخدمة
S. Lalitha, S. Zh. Karazhanov, P. Ravindran, S. Senthilarasu and all…., (2007). Electronic structure, structural and optical properties of thermally evaporated CdTe thin films. Physica B, V. 387, pp. 227-238
I. ASAAD. (2009). Shot Noise in Macroscopic CdTe Resistors: Experemental Evidence and Analytical Study, Eur. Phys. J. Appl. Phys, V. 45, pp. 10303p1-10303p3
E. R. Shaaban, N. Afify, El-Taher. (2009). Effect of film thickness on microstructure parameters and optical constants of CdTe thin films, Journal of Alloys and Compounds, V. 482, pp. 400-404
رسبتْ أغشية رقيقة من الكادميوم تيلورايد (CdTe) على ركازات من الزجـاج بثخانـات مختلفـة
بطريقة التبخير الفيزيائي الحراري (evaporation thermal). الثخانات الهندسـية للأغـشية جـرى
حسابها من طيف الانعكاس للأغشية، و درست الخواص البنيوية و التوجه البلوري ل
يسمح مجهر القوة الذرية بالحصول على معلومات مجهرية عن بنية سطوح الأغشية و برسم صور لطبوغرافيتها تمثل تضاريس السطح، و مراقبة نمو الأغشية الرقيقة و تحديد برامترات الخشونة. قمنا في هذا العمل بدراسة برامترات الخشونة للسطح و معالمه.
نقدم في هذه الورقة الخصائص البنيوية و الضوئية و الكهربائية لأفلام رقيقة من أكسيد الزنك تمت تنميتها من أجل بارامترات مختلفة بوساطة طريقة الترسيب الذري الطبقي (ALD). و قد نميت هذه الأفلام على ركائز من الزجاج و السيلكون عند درجات حرارة منخفضة. استخدمنا
رُسبت أفلام رقيقة ناقلة شفافة (TCOs) من أكسيد القصدير المُشاب بالمنغنيز عند درجة
حرارة ركيزة 450° C بطريقة البخ الحراري. تمت مُناقشة الخصائص البنيوية للأفلام بتابعية
سوية الإشابة لممنغنيز (0, 1 , 3 , 5 ,7 wt%) بينما جميع متغيرات الترسيب مثل: درج
تحظى الأدوات الضوئية المفيدة في مجال التحكم بمعاملات النفوذ و الانعكاس، مثل الأغشية الرقيقة متعددة الطبقات، و البلورات الفوتونية، و بنى براغ المختلفة على صورة قوالب أو أغشية رقيقة متعددة الطبقات بأهمية كبيرة في مجال العلوم الضوئية الطيفية.