دراسة الخصائص البنيوية لأفلام رقيقة من أكسيد القصدير SnO2 المشابة بالمنغنيز و المحضرة بطريقة البخ الحراري


الملخص بالعربية

رُسبت أفلام رقيقة ناقلة شفافة (TCOs) من أكسيد القصدير المُشاب بالمنغنيز عند درجة حرارة ركيزة 450° C بطريقة البخ الحراري. تمت مُناقشة الخصائص البنيوية للأفلام بتابعية سوية الإشابة لممنغنيز (0, 1 , 3 , 5 ,7 wt%) بينما جميع متغيرات الترسيب مثل: درجة حرارة الركيزة، معدل البخ، ضغط الغاز الحامل، المسافة بين فوهة البخ و الركيزة بقيت ثابتة.

المراجع المستخدمة

ROY S.S.; PODDER J., 2010 - Synthesis And Optical Characterization Of Pure And Cu Doped SnO2 Thin Films Deposited By Spray Pyrolysis, Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, 12(7), 1479-1484
TURGUT G.; KESKENLER E. F.; AYDIN S.; SONMEZ E.; DOGAN S.; DUZGUN B.; ERTUGRUL M., 2013 - Effect Of Nb Doping On Structural, Electrical And Optical Properties Of Spray Deposited SnO2 Thin Films, Super lattices and Microstructures, 56, 107-116
GANDHI T.; BABU R.; RAMAMURTHI K., 2013 - Structural, Morphological, Electrical And Optical Studies Of Cr Doped SnO2 Thin Films Deposited By The Spray Pyrolysis Technique, Materials Science in Semiconductor Processing, 16, 427-479

تحميل البحث